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| 光刻机 | 项目编号****点击查看 | |
| 2025-09-30 17:07:31 | 公告截止日期2025-10-11 15:00:00 | |
| ****点击查看 | 付款方式设备到货安装验收合格后凭验收报告支付100%货款。 | |
| 联系电话 | ||
| 到货时间要求 | 签约后30个工作日 | |
| ￥270000.00 | ||
| **省**市**区**路2279号 | ||
| 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 光刻机 | 1 | 台 |
| 晟华信 |
| C25X-300 |
| ￥ 270000.00 |
| 1.光源：高强度LED灯。曝光面积：160mm×160mm，曝光不均匀性≤3%，曝光强度≥30mW/cm2可调，紫外光束角≤3°，****点击查看中心波长要有365nm、404nm、435nm三种可选，紫外光源寿命≥2万小时 2.五种版夹盘，能吸附为6"*6"或5"*5"或4"*4"或3"*3"或2.5"*2.5"方形掩板。 3.四个承片台：可用于φ2、φ3、φ4、φ5四种基片的吸附。 4.进口时间继电器（可从0.1秒∽999.9秒预设）控制气动快门。 5.接触式曝光机，需要实现：a.硬接触曝光：用管道真空来获得高真空接触。真空≤-0.05MPa。b.软接触曝光：接触压力可将真空降到-0.02MPa ～ -0.05MPa之间。c.微力接触曝光：小于软接触。真空≥-0.02MPa。 6. 分辩率估计：硬接触曝光的最小分辨度为1.5μm 7.对准：观察系统需为两个单筒显微镜上装二个CCD摄像头，通过视屏线连接到显视屏上。 a.单筒显微镜需为0.7X～4.5X连续变倍显微镜（或1.6X～10X）。 b.CCD摄像机靶面对角线尺寸需为：1/3，（6mm）; c.19"液晶监视器，数字放大倍率需为19÷1/3=57倍； d.观察系统放大倍数：0.7×57≈40倍（最小倍数），4.5×57≈256倍（最大倍数）或（91倍～570倍）。 8.对准台:X、Y调整：±5mm，6.θ调整：转角≤5°，对准间隙（分离间隙）0～5mm任意可调，整个对准台相对于显微镜可作±20mm扫描运动。 |
| 服务时限:报修后24小时;质保期:一年; |
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