掩膜紫外对准曝光机（HITJJ-2024000078）采购公告

公告-招标公告黑龙江 - 哈尔滨 - 南岗区

发布于 2024-10-22

招标详情

哈尔滨工业大学（深圳）（哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院）

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掩膜紫外对准曝光机	****点击查看
2024-10-22 12:59:41	2024-10-25 13:00:00
****点击查看	货到付款

	签约后3个工作日内
￥450000.00




省点击查看岗区西大直街92号**点击查看动力楼634
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购清单1

采购商品采购数量计量单位所属分类

掩膜紫外对准曝光机

套

品牌型号预算单价技术参数及配置要求参考链接售后服务

真空设备

高精度对准光刻机

￥ 450000.00

有四种版夹盘,能真空吸附5"×5"或4"×4"或3"×3"方形掩板；设有相对应的真空吸附基片的“承片台”三个；曝光面积：100mm*100mm，曝光不均匀性≤3%，曝光强度≥40mW/cm2可调，紫外光束角≤3°，****点击查看中心波长365nm、404nm、435nm可选，紫外光源寿命：≥2万小时；采用进口时间继电器（该继电器可从0.1秒∽999.9秒预设）控制电子快门；接触式曝光机；观察系统为两个单筒显微镜上装二个CCD摄像头，通过视屏线连接到显视屏上。

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竞价采购供应商须知 .docx

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