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| ****点击查看工作站 | 项目编号****点击查看 | |
| 2025-04-27 11:06:26 | 公告截止日期2025-05-08 13:00:00 | |
| ****点击查看 | 付款方式内贸部分：货到验收合格后付全款 | |
| 联系电话 | ||
| 到货时间要求 | 内贸部分：15天内 | |
| ￥498000.00 | ||
| 云谷校区 | ||
| 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| ****点击查看工作站 | 1 | 台 |
| ￥ 498000.00 |
| 1. 设备需具备皮升级非接触式液体自动化分配技术，实现pL级别的点样需求。 2. 自动化平台为：1）高精度XYZ三轴位移控制平台，具备闭环位置控制实时位置校准；2）图形化人机界面，可通过软件端控制点样针的精确移动；3）机械精度：机械重复精度优于±10 μm；4) 运动速度：XY轴最高运动速度≥500 mm/s。 3. 液体分配通道：1）含至少1个独立液体分配通道，具有独立的注射泵系统，避免通道之间的污染；2）液体分配通道扩展能力：可扩展至≥8个独立的液体分配通道，各分配通道具有相互独立的泵系统，可单通道独立工作或多通道同时工作。 4. 程序化自动清洁系统：具备管路和点样针自动清洁系统，可同时清洗点样针内壁与外壁，避免溶液交叉污染。 5. 点样工作区域：点样针工作的区域应较大，应覆盖或接近12寸晶圆上的全部位置点样需求。 6. 载物台：具备可拆卸载物台，可快速更换，支持晶圆、硅级芯片、载玻片，薄膜等基材的使用。另外，具备后续在载物台上进行低温平台的加装。 7. 点样针规格：压电喷墨式点样针，可实现皮升级的分液需求，最小液滴体积不高于100 pL，点样针应具有良好的耐用性。为了方便点样时进行侧方位观察，点样针的尖端部分应裸露，可被视觉系统直接观察到。另外，点样针的分液精度应较高，液滴体积的CV值应低于5%。 8. 点样针的移液参数：点样针的最小吸液体积应低于10 μL，以最大程度节约点样溶液的消耗，且整个管路系统的死体积应控制在10 μL以内。在基材上的点样密度应不低于2000个/cm2，即应能实现在**度的阵列芯片上的高通量点样需求。 9. 液滴质控模块：配置频闪系统，使用光学监测液滴尺寸、形状及喷射状态，用于检测压电点样针分液情况。该液滴质控模块功能应在软件中体现，能够通过PC端软件实现压电参数的调控。 10. 机器视觉模块：用于点样位置精确定位，可定位最小结构尺寸应不高于100 μm。 11. 点样环境：整机设备应具备透明防尘罩，在保护机器内部工作空间洁净时可允许操作人员观察机器内部工作情况，并允许制造点样时的环境湿度可调控的前期条件。 12. 打印进程监控：具备打印进程监控摄像头，可实时视频监控点样针喷点状态。 |
| 质保期:1年;商品承诺:质保期后，只收取零配件费，不收取人工费; |
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