光学薄膜蒸发系统-中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所-政府采购意向

采购意向江苏 - 苏州 - 苏州

发布于 2025-03-28

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中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

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光学薄膜蒸发系统
项目所在采购意向：
采购单位：	****点击查看
采购项目名称：	光学薄膜蒸发系统
预算金额：	450.000000万元(人民币)
采购品目：	A**点击查看0000-设备_A点击查看0000-电工、电子生产设备_A**点击查看0300-电子工业生产设备
采购需求概况：	光学薄膜蒸发系统，设备需支持多层膜系设计，兼容多种镀膜材料（如Si、Ge、SiO2、TiO2、Ta2O5、Al2O3等）。镀膜均匀性：≤±1%；膜层厚度控制精度：≤±0.5nm（需支持实时监控系统）；真空度：≤5×10-6Pa（极限真空度）；镀膜速率：根据工艺需求可调（如0.1-10nm/s）；自动化程度：配备自动翻转系统、膜厚监控软件及工艺参数数据库；带离子源，配备光控模块，8寸向下兼容。以实际公告为准。
预计采购时间：	****点击查看
备注：