空天信息大学（筹）封装设备采购项目-空天信息大学-政府采购意向

序号

采购项目名称

采购需求概况

预算金额

（万元）

拟面向中小企业预留

预计采购时间

（填写到月）

备注

1

****点击查看大学（筹）硅硅自动键合设备采购项目

本****点击查看大学（筹）先进微纳加工平台建设。根据实验室建设需求，拟通过采购硅硅自动键合机实现高精度晶圆级全自动硅硅键合工艺，满****点击查看学院的专业基础教学和科学研究需求。拟采购的服务的质量标准、安全要求必须满足国家相关标准、行业标准、地方标准等。采购的服务内容包括但不限于以上内容，以实际采购情况为准。

6800

否

2

****点击查看大学（筹）超精密减薄抛光设备采购项目

本****点击查看大学（筹）先进微纳加工平台建设。根据实验室建设需求，拟通过采购晶圆临时键合机、晶圆解键合机、解键合清洗机、临时键合匀胶机、多功能键合机、键合对准机、超精密减薄机、CMP研磨抛光系统、晶圆红外检测系统、光学检测系统AOI、超声波扫描显微镜等设备，实现超精密减薄抛光工艺。拟采购的服务的质量标准、安全要求必须满足国家相关标准、行业标准、地方标准等。采购的服务内容包括但不限于以上内容，以实际采购情况为准。

6000

否

3

****点击查看大学（筹）高精度图形转移设备采购项目

本****点击查看大学（筹）先进微纳加工平台建设。根据实验室建设需求，拟通过采购步进式光刻机、光刻机配套匀胶喷胶及显影系统、光刻机配套等离子去胶机等设备，实现高精度图形转移和去胶工艺，满****点击查看学院的专业基础教学和科学研究需求。拟采购的服务的质量标准、安全要求必须满足国家相关标准、行业标准、地方标准等。采购的服务内容包括但不限于以上内容，以实际采购情况为准。

6500

否

4

****点击查看大学（筹）材料生长设备采购项目

本****点击查看大学（筹）先进微纳加工平台建设。根据实验室建设需求，拟通过采购铜填充电镀系统、ALD镀铜机、金属磁控溅射台、氧化物磁控溅射台、热蒸发台、多片式电子束蒸发台、高均匀电子束蒸发台、电子束蒸发台、多片式PECVD、PZT磁控溅射台、真空冷喷涂薄膜沉积系统、氮化铝磁控溅射台、二氧化硅化学气相沉积设备等设备，实现高质量薄膜材料生长工艺，满****点击查看学院的专业基础教学和科学研究需求。拟采购的服务的质量标准、安全要求必须满足国家相关标准、行业标准、地方标准等。采购的服务内容包括但不限于以上内容，以实际采购情况为准。

8600

否

5

****点击查看大学（筹）刻蚀设备采购项目

本****点击查看大学（筹）先进微纳加工平台建设。根据实验室建设需求，拟通过采购深硅刻蚀、TSV通孔刻蚀、金属刻蚀机、电介质刻蚀机、电感耦合反应离子刻蚀、二氧化硅刻蚀机、RIE干法刻蚀、PZT刻蚀机、氮化铝刻蚀机、离子束刻蚀机、KOH腐蚀系统等设备，实现压电薄膜的高质量制备与高精度加工，满****点击查看学院的专业基础教学和科学研究需求。拟采购的服务的质量标准、安全要求必须满足国家相关标准、行业标准、地方标准等。采购的服务内容包括但不限于以上内容，以实际采购情况为准。

5500

否

6

****点击查看大学（筹）MEMS与光电集成设计加工设备采购项目

本****点击查看大学（筹）先进微纳加工平台建设。根据实验室建设需求，拟通过采购8英寸光刻机、晶圆清洗机、晶圆干燥机、匀胶机、显影机、飞秒激光加工系统、双光子聚合3D打印系统、管式退火炉、快速真空退火炉、离子注入机、多物理场仿真设计软件、有限元仿真设计软件、集成光学和半导体电子器件仿真设计软件、****点击查看工作站等设备，实现高精度接近式光刻图形加工与飞秒激光图形加工，满****点击查看学院的专业基础教学和科学研究需求。拟采购的服务的质量标准、安全要求必须满足国家相关标准、行业标准、地方标准等。采购的服务内容包括但不限于以上内容，以实际采购情况为准。

4400

否

7

****点击查看大学（筹）表征测试设备采购项目

本****点击查看大学（筹）先进微纳加工平台建设。根据实验室建设需求，拟通过采购聚焦离子束扫描电子显微镜FIB+SEM、激光共聚焦显微镜、金相显微镜、X射线衍射仪、三维光学表面轮廓仪、超快三维探针台、低温强磁场真空探针台、太赫兹射频探针台、太赫兹时域频谱仪、太赫兹三维层析成像系统、高精度太赫兹近场扫描系统、集成光电子测试系统、谐振式MEMS测试台、直流探针台及源表设备等设备，满****点击查看学院的专业基础教学和科学研究需求。拟采购的服务的质量标准、安全要求必须满足国家相关标准、行业标准、地方标准等。采购的服务内容包括但不限于以上内容，以实际采购情况为准。

6500

否

8

****点击查看大学（筹）封装设备采购项目

本****点击查看大学（筹）先进微纳加工平台建设。根据实验室建设需求，拟通过采购激光隐形切割机、等离子体清洗机、全自动贴片机、倒装贴片机、塑封固化机、激光植球机、真空回流焊炉、自动点胶机、金丝球焊机、超声波楔焊机、激光焊接机、平行缝焊机、3D打印机、多功能柔性激光精密加工系统、多层电路压合设备、芯粒贴片机等设备，实现高精度后道封装工艺，满****点击查看学院的专业基础教学和科学研究需求。拟采购的服务的质量标准、安全要求必须满足国家相关标准、行业标准、地方标准等。采购的服务内容包括但不限于以上内容，以实际采购情况为准。

3400

否

9

****点击查看大学（****点击查看实验室集成电路设计与微纳加工设备采购项目

本****点击查看大学****点击查看实验室建设。根据实验室建设需求，拟通过采购EDA设计大学计划软件包、湿法清洗机。甩干机、光刻机、激光直写光刻机、深硅刻蚀机、气态氟化氢释放系统、电感耦合反应离子刻蚀、各向同性干法硅刻蚀（XeF）、氯基的RIE干法刻蚀、激光辅助玻璃刻蚀机、电镀、磁控溅射台、电子束蒸发台、低压化学气相沉积、等离子体增强化学气相沉积设备、原子层沉积设备（ALD）、扩散炉等设备，满****点击查看学院的专业基础教学和科学研究需求。拟采购的服务的质量标准、安全要求必须满足国家相关标准、行业标准、地方标准等。采购的服务内容包括但不限于以上内容，以实际采购情况为准。

6900

否

10

****点击查看大学（****点击查看实验室封装测试表征设备采购项目

本****点击查看大学****点击查看实验室建设。根据实验室建设需求，拟通过采购砂轮划片机、键合机、管壳打标机、网络分析仪、频谱分析仪、倒置荧光显微镜、原子力显微镜、方阻测试仪、应力测试仪、非接触式白光干涉仪、圆片测厚仪、椭偏仪、场发射扫描电镜、台阶仪、显微镜等设备，满****点击查看学院的专业基础教学和科学研究需求。拟采购的服务的质量标准、安全要求必须满足国家相关标准、行业标准、地方标准等。采购的服务内容包括但不限于以上内容，以实际采购情况为准。

1700

否